MEMS流量传感器
MEMS流量传感器(COB封装)
MEMS热式流量传感器是一种利用流体传热原理的流体测量器件,可以用于检测气体流量、微差压、风速。主要用于医疗、仪器、燃气等领域,提供高精度低功耗流量检测。月产能≥50K。
精度高
精度高:直接测量质量流量不引入二次误差
响应快:<10ms的快速测量
灵敏度高:能对微小流量进行测量
可靠性强
无可动部件,长期保持测量性能
流场适应性强,无需特定的直管段要求
集成化
传感器与电路集成:支持IIC和线性模拟电压输出
低功耗
MEMS热式流量传感器是一种利用流体传热原理的流体测量器件,可以用于检测气体流量、微差压、风速。主要用于医疗、仪器、燃气等领域,提供高精度低功耗流量检测。月产能≥50K。
精度高:直接测量质量流量不引入二次误差
响应快:<10ms的快速测量
灵敏度高:能对微小流量进行测量
无可动部件,长期保持测量性能
流场适应性强,无需特定的直管段要求
传感器与电路集成:支持IIC和线性模拟电压输出
低功耗