MEMS流量传感器

MEMS流量传感器

MEMS热式流量传感器是一种利用流体传热原理的流体测量器件,可以用于检测气体流量、微差压、风速。主要用于医疗、仪器、燃气等领域,提供高精度低功耗流量检测。月产能≥50K。

精度高

精度高:直接测量质量流量不引入二次误差

响应快:<10ms的快速测量

灵敏度高:能对微小流量进行测量

可靠性强

无可动部件,长期保持测量性能

流场适应性强,无需特定的直管段要求

集成化

传感器与电路集成:支持IIC和线性模拟电压输出

低功耗

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