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应力仪

工艺能力

技术指标:
  • 激光器:635/670nm，双波长的光源，系统自动切换。
  • 样品尺寸:2/4/6/8inch整片
  • 可根据需要设置多条扫描线
  • 样品测量后可绘制2D Mapping应力分布图
设备能力：
主要应用于薄膜应力和晶圆弯曲测量，可用该设备分析解决诸如薄膜裂纹、分层、突起和空隙等问题。
 

应力仪

工艺能力

技术指标:
  • 激光器:635/670nm，双波长的光源，系统自动切换。
  • 样品尺寸:2/4/6/8inch整片
  • 可根据需要设置多条扫描线
  • 样品测量后可绘制2D Mapping应力分布图
设备能力：
主要应用于薄膜应力和晶圆弯曲测量，可用该设备分析解决诸如薄膜裂纹、分层、突起和空隙等问题。
 

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