UL1000 Fab氦质谱检漏仪
工艺能力
技术指标：
- 氦气（真空模式）最低可检漏率<5*10-12 mbar•L/s
- 氦气（吸枪模式）最低可检漏率3*10-8 mbar•L/s
- 最大可以显示氦的可检漏率0.1 mbar•L/s
- GROSS 模式最大进气口压力15 mbar
- FINE 模式最大进气口压力2 mbar
- ULTRA 模式最大进气口压力0.4 mbar
- 抽真空期间的抽气能力25m³/h at 50 Hz
- GROSS 模式氦气抽气能力max.8 L/s
- FINE 模式氦气抽气能力7 L/s
- ULTRA 模式氦气抽气能力2.5 L/s
- 启动时间< 3min
- 响应时间≤1 s
- 内置校准测试漏孔10-7 mbar•L/s
设备能力：
适用于半导体工业精确检漏，具备灵活性测试、高灵敏度、快速与精确的结果、快速启动、移动性和系统的可靠性等特点，能够在半导体工艺设备的维护、工艺气体系统的检测与安装、元器件在组装前的漏率测试中快速提供测试结果。
