SEM扫描电子显微镜（Sigma360）
工艺能力
性能指标：①电子光学系统项目 Sigma360性能指标：
- 分辨率：0.7nm @15kV，1.1nm @1kV
- 放大倍率： 10x-1,000,000x
- 电子枪： 热场肖特基场发射电子枪
- 加速电压 0.02kV~30 kV
- 束流 3pA-20 nA(100 nA optionally)
- 束流稳定性 优于0.2%/h
- 最快扫描速度 50ns/pixel
- 样品台最大可承载直径250mm，最厚70mm的样品
T(倾斜)：-10°~+90°，R(旋转)：360°连续。
