工艺能力

模拟采集：
测试电压 100nv~1000V
电阻（2-线） 500μΩ~120MΩ

通道：80

数字采集：
时钟频率（全双工） 最大36MHz
时钟频率（硬件或者软件） 最大18MHz

温控参数：
温控 范围 -60℃~150℃
升降温速率 2℃/min

温度波动度：<±0.5℃ (恒定状态时)

温度偏差：±2℃ (空载)

温度均匀度：<±2℃ (恒定状态时)

设定精度：0.1℃

转台精度：
Minimum Incremental Motion ：0.72＂
Absolute Accuracy ：±25.2＂